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SEMI S2

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我应该用SEMI的哪个版本?

设备制造商在开始对设备进行安全评估时会产生这样一个问题。在过去的12年里,SEMI™已经出版了8种不同版本的SEMI S2,即《半导体制造设备的安全指南》。1991年,一个代表终端用户和设备制造商的核心安全组制定了一个文件,来协调终端用户的安全需求,于是,SEMI S2首次出版。目的在于建立一套标准,使制造商不必再满足“Intel规范”,“IBM规范”,“摩托罗拉规范”和“AMD规范”等。

不久, SEMI S2-91要求的扩展和细化工作开始。两年后,一个新的、更加全面的文件问世。SEMI S2-93逐渐获得了芯片制造商和设备制造商的认可,成为设备安全要求的行业标准。

1996年,SEMI S2-93有了更新,增加了相关信息部分。该部分描述了对使用SEMI S2的行业观点,以表明SEMI S2符合欧洲机械和低压指令。更新后的版本成为SEMI S2-93A。

1997年, SEMI S2的更新工作又开始了。SEMI的强制五年修改要求确立。由于其日益普及和使用,重写S2的工作开始认真进行。目的在于扩展范围,使其覆盖更多危险因素,修复其明显缺陷并增添风险分析概念。

SEMI S2-0200
经过近4年的努力,一个新的SEMI S2于2000年2月发布。这份文件对要求进行了全面的更新,并在方法方面进行了重要改变,尤其增加了风险评估以及“可接受风险”和“符合意图”的概念。该文件还包含了几个新的部分,机械设计、危险警示标签、危险能量隔离、自动材料处理器和激光器。新文件未打算适用于旧设备;但是,许多终端用户迅速地将此文件版本增加到了他们的采购规范之中。大多数情况下,按照SEMI S2-93进行设计和评估的设备制造商成为这一流程的始创者。不过,随着时间的推移,大部分制造商被迫更新评估要求。不幸的是,许多制造商发现他们的新设备,主要是根据SEMI S2-93A设计评估的300mm器械,不能满足SEMI S2-0200的新要求。

SEMI S2-0302 SEMI S2-0302发行于2002年3月,阐述了更新内容,保留或加入了协议以及几个引用文件,这些引用文件中最值得注意的是SEMI S14 “半导体生产设备的火险评估和缓解”。由于此项重大改变,SEMI S2要求火险评估使用SEMI S14。

SEMI S2-1102 & SEMI S2-0303
SEMI S2-1102和S2-0303紧跟‘-0302的步伐。这些版本的更新主要是对S2以及其他SEMI “S”指南,比如S9和S14的校订和调整。

SEMI S2-0703
SEMI S2的最新更新版本出版于2003年7月。这个版本的更新包括第14部分相关信息和第11、12部分的变化。在特定情况下,该更新版允许使用软件和固件控制。这是首个有关在安全控制电路方面使用软件和固件的明确指南。此前,大多数情况下都需要分散的硬件设备。

另外,SEMI S2-0703成为未来3年的记录版本。在2003年7月于圣弗兰西斯科举行的美西半导体展会议上,北美环境健康安全委员会投票将SEMI S2要求固定并实施变更管理计划。更多信息请看半导体更新。经委员会于2003年7月至2006年7月期间投票批准的SEMI S2行项目改变会作为文件编辑变化的一部分成为相关资讯,但是它们到2006年7月之后才会成为指南的强制要求。

哪一个更适合您呢? 嗯,这很难说。大多数情况下,您的客户会在系统的采购文件中告诉您。目前,大部分设备仅仅是之前评估过的设备的修改版。在这些情况中,由于通用共享平台或遗留系统的原因,可以按照与旧版本相同的版本对新配置进行评估。对于系统和新设备的重大重新设计,则应使用SEMI S2-0703,以使评估结果具有最长时间的有效性。

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  • 半导体设备

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